Het produceren van chips is een delicaat proces. Halfgeleiderchips worden gemaakt door met licht bepaalde materialen weg te etsen, maar ongewenste deeltjes kunnen bijna letterlijk roet in het eten gooien. Om dit te voorkomen gebruikt de industrie 'pellicles' om de wafer te beschermen tegen bijvoorbeeld stof. Het Imec blijkt dit onderdeel te hebben verbeterd, wat een grote stap is voor de adoptie van euv-machines. Dit type membraan moet voldoen aan een aantal strikte voorwaarden om geschikt te...
Continue reading...
Continue reading...